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| 清洗产品 | 硅片 | 182mm~210mm 方片/半片(thickness 110±10μm） |
| 产能 |
产量 | ＞6000PCS/H |
| 碎片率 | ≤0.2‰ | |
| 机械手 | 承载重量 |
80kg |
| 花篮载片数量 | 480pcs/次 清洗专用Cassette规格（120PCS片盒） | |
| 功能描述 | 机械手数量 | 3 |
| 电机控制 | 绝对值伺服控制 | |
| 温度精度 | ±0.5℃ | |
| 药水添加精度 | ±1% | |
| 电力参数 | 总功率、电压 | 135kw+120kw（MAX），3PH+PE+N 380V 50Hz |
| 设备稳定性 | UPTIME | ≥99% |
| 设备外形尺寸 | 18850*3000*2892（长*宽*高） 含上下料台 | |
| 电控箱尺寸 | 1200*400*2100（2组）内置 | |
| 序号 | 项目 | 数量 | 单位 | 说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 上料台 | 1 | 套 | |
| 2 | 下料台 | 1 | 套 | |
| 3 | 机械手 | 3 | 套 | 伺服控制 |
| 4 | 框架 | 1 | 套 | PP白色 |
| 5 | 电控箱 | 1 | 套 | 内置 |
| 6 | 工业热水机 | 1 | 套 | 120KW |
| 7 | 内置槽体 | 16 | 个 | 碱性工位2套 |
| 酸性工位6套 | ||||
| 中性工位5套 | ||||
| 烘干工位3套 |
| 序号 | 工艺 | ||
|---|---|---|---|
| 工序 | 辅助 | 处理液 | |
| 上料 | |||
| 1 | 酸洗 | 循环+鼓泡 | HF+HCL+ADD1+DI |
| 2 | 酸洗 | 循环+鼓泡 | HF+HCL+ADD1+DI |
| 3 | 酸洗 | 循环+鼓泡 | HF+HCL+ADD1+DI |
| 4 | 酸洗 | 循环+鼓泡 | HF+HCL+ADD1+DI |
| 5 | 酸洗 | 循环+鼓泡 | HF+HCL+ADD1+DI |
| 6 | 漂洗 | 溢流+鼓泡 | DI |
| 7 | 碱洗 | 循环+加热+鼓泡 | NaOH+ADD2+DI |
| 8 | 漂洗 | 溢洗+鼓泡 | DI |
| 9 | 碱洗 | 循环+加热+鼓泡 | NaOH+H2O2+DI |
| 10 | 漂洗 | 溢洗+鼓泡 | DI |
| 11 | 酸洗 | 循环+鼓泡 | HF+HCl+DI |
| 12 | 漂洗 | 溢洗+鼓泡 | DI |
| 13 | 预脱水 | 循环+加热+内循环 | DI |
| 14 | 烘干 | 槽式烘干+内循环 | 洁净空气 |
| 15 | 烘干 | 槽式烘干+内循环 | 洁净空气 |
| 16 | 烘干 | 槽式烘干+内循环 | 洁净空气 |
| 下料 | |||
