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| 清洗产品 | 碳钎维框 | ALD |
| 产能 |
产量 | 12套/天 |
| 机械手 | 承载重量 | 1000kg |
| 花篮承载数量 | 18pcs(拆片) | |
| 功能描述 | 机械手数量 | 1 |
| 电机控制 | 绝对值伺服控制 | |
| 温度控制 | ±1℃ | |
| 药水添加精度 | ±1% | |
| 电力参数 | 总功率、电压 | 5kw（MAX）， 380V 50Hz |
| 设备稳定性 | UPTIME | ≥99% |
| 设备外形尺寸 | 6650*2860*3100（长*宽*高） | |
| 电控箱尺寸 | 内置 | |
| 序号 | 工序 | 辅助 | 处理液 | 工艺时间（H） | 材质 | 排风 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 酸洗/漂洗 | 循环+鼓泡+溢流 | HF+HCL+DI | 6+6 | PP-N | 有 |
| 人工手动下料 | ||||||
| 序号 | 储液槽体 | 材质 | ||
|---|---|---|---|---|
| 工序 | 说明 | 处理液 | ||
| 1 | 储液 | 配置气动隔膜泵 | HF+HCL+DI | PP-N |
