清洗产品	石英管/舟	182mm~210mm石英管/舟
产能	产量	炉管2PCS/批次，石英舟8PCS/批次
	装载	1管/槽，4舟/槽
滚动	滚轮传动	FPM接触
功能描述	液位保护功能	有
	泄漏侦测功能	有
电力参数	总功率、电压	3kw，1PH+PE+N 220V 50Hz
设备稳定性	UPTIME /td>	≥99%
设备外形尺寸	6200*2280*2220（长*宽*高）
电控箱尺寸	内置

序号	工艺
	工序	辅助	处理液
1	酸洗/水洗	滚动+鼓泡+喷淋	HF+HCL+DI
2	酸洗/水洗	滚动+鼓泡+喷淋	HF+HCL+DI